層式退火結(jié)晶爐
采用自研加熱系統(tǒng)和控溫方式，提高鈣鈦礦材料結(jié)晶時(shí)受熱均勻性，保證鈣鈦礦材料快速退火結(jié)晶的一致性
選件：
鈣鈦礦、層式退火結(jié)晶獨(dú)立控溫快速冷卻超潔凈工業(yè)計(jì)算機(jī)觸摸屏
產(chǎn)品特點(diǎn)
用于成膜后的退火結(jié)晶工藝，設(shè)備由進(jìn)出料傳送段、機(jī)械手取放料裝置、爐體、預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、冷卻區(qū)、取放片裝置、進(jìn)排氣裝置、傳動(dòng)組件、電控系統(tǒng)等組成。每層加熱、冷卻時(shí)間獨(dú)立可調(diào)；
爐體內(nèi)部的潔凈度可達(dá)百級(jí)，爐內(nèi)采用模組機(jī)械手X、Y、Z搬送，傳送滾輪采用UPE防靜電材料制作，不刮傷產(chǎn)品底面；
搭載智能控制軟件系統(tǒng)，溫控精度高，動(dòng)作快速精準(zhǔn)、升溫速率可控、基板表面溫度均勻、溶劑揮發(fā)充分。
產(chǎn)品詳情
| 系列 | 處理產(chǎn)品規(guī)格 | 進(jìn)料方向 | 最高溫度 | 退火生產(chǎn)節(jié)拍 | 控制區(qū)域 | 氣氛 |
| HXL | 300×300mm-2400×1600mm | 長(zhǎng)邊進(jìn)料 | 200℃ | ≥30秒/PCS | 預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、冷卻區(qū) | Air/真空 |
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