VCD閃蒸爐
鈣鈦礦溶液涂布后快速抽真空,蒸發(fā)一部分溶劑,使其快速成膜,然后經退火工序進一步優(yōu)化結晶過程
選件:
工業(yè)計算機觸摸屏質量流量計真空閃蒸涂布成膜
產品特點
鈣鈦礦閃蒸爐是通過高壓高溫液體在壓力驟降時,因溫度高于新壓力下的沸點而部分瞬間汽化的過程。該過程利用物質沸點隨壓力降低的特性,液體進入低壓環(huán)境后迅速蒸發(fā)并吸收汽化潛熱,溶液減壓后汽化達到涂布后快速抽真空的效果。
產品詳情
系列 | 基板尺寸 | 基板厚度 | 抽氣速率 | 溫區(qū)長度 | 基板載臺溫度 | 氣氛 |
HVT | 2400mm×1200mm | 1.6-3.2mm | 10秒內抽至10Pa | 3000mm | 20-150℃ | Air/真空 |
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